(3)容器壁放氣量

    已知:材料302不銹鋼(1Cr18Ni9)出氣率ρ10h=4×10－7Pa·L/(s·cm2)所以容器壁Q出=ρ10h·S=0.00192Pa·L/s經(jīng)估算，總充氣和漏氣量Q為1.83Pa·L/s，真空泵的有效抽速Se=Q/P極限=109.8L/min，取20%的設(shè)計(jì)余量和管道流導(dǎo)的影響，真空泵實(shí)際抽速應(yīng)達(dá)到SL=1.2×Se=131.8L/min。根據(jù)泵的抽速即可為本系統(tǒng)選配適宜的真空泵。

1.2.2真空室的計(jì)算

    真空室是比對(duì)法真空校準(zhǔn)裝置設(shè)計(jì)的關(guān)鍵部分，根據(jù)JJG729—1991的要求，我們選用圓筒型容器作為真空室的主要形式，要求筒長(zhǎng)與筒徑之比不大于3，在設(shè)計(jì)真空室的容積時(shí)，要大于連接到該容積被檢真空規(guī)總?cè)莘e的20倍，該裝置的真空室的容積設(shè)計(jì)為20L，整套裝置備有3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)ISO/KF接口和ISO/KF轉(zhuǎn)M20×1.5mm接口，同時(shí)可接3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的真空計(jì)和1個(gè)被校絕壓變送器，通過(guò)查說(shuō)明書(shū)和經(jīng)過(guò)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和被校變送器的總?cè)莘e為0.015L，遠(yuǎn)小于真空室的容積，真空室的尺寸符合要求。

2校準(zhǔn)程序和基本計(jì)算

2.1校準(zhǔn)程序

    校準(zhǔn)前必須確保標(biāo)準(zhǔn)器和被校變送器加電預(yù)熱2h以上，同時(shí)需確認(rèn)管道密封良好，被校變送器過(guò)程接口清潔、無(wú)雜物。

    shou先將被校變送器正確安裝，位置如圖1所示。關(guān)閉微調(diào)閥和放氣閥后，打開(kāi)真空泵及其連接管路上的真空閥，對(duì)傳感器安裝接口及真空氣室進(jìn)行抽氣，當(dāng)真空顯示控制單元顯示的壓力值達(dá)到1Pa左右時(shí)，逐步打開(kāi)微調(diào)閥，使氣瓶?jī)?nèi)的氣體通過(guò)微調(diào)閥進(jìn)入真空氣室，通過(guò)平衡抽氣和氣瓶補(bǔ)氣達(dá)到動(dòng)態(tài)的平衡后，真空顯示控制器的顯示值達(dá)到預(yù)定的校準(zhǔn)壓力值時(shí)，讀取被校變送器示值，完成校準(zhǔn)后，關(guān)閉真空泵及真空泵后的真空閥，關(guān)閉氣瓶和同時(shí)關(guān)閉真空氣室的微調(diào)閥后，打開(kāi)放氣閥，待壓力達(dá)到大氣壓時(shí)，卸下變送器，校準(zhǔn)結(jié)束。操作流程如圖2所示。

2.2基本計(jì)算

    通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)，將標(biāo)準(zhǔn)器的設(shè)定點(diǎn)誤差控制在±5Pa以內(nèi)，當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)示值穩(wěn)定后，連續(xù)記錄5次被校表示值然后取平均值，并進(jìn)行誤差計(jì)算。

    式中:ΔA為覺(jué)對(duì)壓力變送器示值誤差，Pa;Ad為被校變送器示值算術(shù)平均值，Pa;As為標(biāo)準(zhǔn)器示值，Pa。

3覺(jué)對(duì)壓力變送器的計(jì)量性能驗(yàn)證

    根據(jù)校準(zhǔn)操作程序和計(jì)算方法，我們隨機(jī)抽取2臺(tái)在我廠使用的不同廠商的覺(jué)對(duì)壓力變送器進(jìn)行校準(zhǔn)，測(cè)量范圍設(shè)定為0～1200Pa，為驗(yàn)證變送器實(shí)際計(jì)量性能，根據(jù)JJG882—2004的要求，選擇的校準(zhǔn)范圍為24～1200Pa。

    先分別將變送器按24Pa進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整后，進(jìn)行兩組校準(zhǔn)，在此過(guò)程中變送器不做其他調(diào)整，兩臺(tái)覺(jué)對(duì)壓力變送器的測(cè)量數(shù)據(jù)如表1和表2所示。

    由數(shù)據(jù)可以反映，1#變送器在測(cè)量范圍內(nèi)仍滿足±1%的準(zhǔn)確度要求，但是1#，2#覺(jué)對(duì)壓力變送器在60Pa以下的線性度均出現(xiàn)不同程度的畸變。

4校準(zhǔn)過(guò)程測(cè)量不確定度評(píng)定

    真空校準(zhǔn)過(guò)程中需要考慮的不確定度通常包括環(huán)境因素、標(biāo)準(zhǔn)器的分辨力、真空室內(nèi)的氣體均勻性、裝置的穩(wěn)定性和是否有吸放氣效應(yīng)等多種因素。經(jīng)過(guò)分析歸納，校準(zhǔn)過(guò)程中主要的不確定度來(lái)源包括標(biāo)準(zhǔn)器引入的不確定度、重復(fù)性引入的不確定度和標(biāo)準(zhǔn)裝置壓力穩(wěn)定性引入的不確定度。

4.1標(biāo)準(zhǔn)器引入的不確定度

    校準(zhǔn)覺(jué)對(duì)壓力變送器除包括電容薄膜真空計(jì)之外，還包括電測(cè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的不確定度。這里1#標(biāo)準(zhǔn)器采用的是inficon公司的電容薄膜真空計(jì)，經(jīng)過(guò)上級(jí)校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)使用比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)后給出的不確定度Urel=0.6%，其引入的不確定度分量為ub1=0.3%。2#標(biāo)準(zhǔn)器采用的是FLUKE8808A，20mA檔的不確定度為Urel=0.02%，其引入的不確定度分量為ub2=0.01%。

4.2重復(fù)性引入的不確定度

    以被校覺(jué)對(duì)壓力變送器設(shè)定測(cè)量范圍1.2kPa，我們?cè)?0Pa環(huán)境下進(jìn)行了10次重復(fù)性實(shí)驗(yàn)，測(cè)試數(shù)據(jù)分別為:54.2、52、51.6、50.5、48.5、47.7、50.9、52、53.3、54Pa，平均值為51.47Pa，單次測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)差為2.16Pa。

    在重復(fù)性條件下測(cè)量10次，日常校準(zhǔn)中以5次測(cè)量算術(shù)平均值作為測(cè)量結(jié)果，則:

4.3標(biāo)準(zhǔn)壓力穩(wěn)定性引入的不確定度

    由于該裝置的結(jié)構(gòu)和性能限制，壓力的穩(wěn)定度#大能控制在±5Pa，此區(qū)間服從均勻分布，則有:

4.4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    因各輸入量好立，互不影響，則有:

4.5擴(kuò)展不確定度

    取包含因子k=2，真空裝置校準(zhǔn)的擴(kuò)展不確定度為Urel=0.4%。

5注意事項(xiàng)

    (1)覺(jué)對(duì)壓力變送器的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)方法不同于普通壓力變送器的逐點(diǎn)造壓/疏空后的示值快速比對(duì)。真空校準(zhǔn)前抽氣至1Pa的目的在于確認(rèn)其連接的氣密性和穩(wěn)定性;逐點(diǎn)校準(zhǔn)過(guò)程中通入氮?dú)庹{(diào)整壓力的目的是#大限度降低空氣雜質(zhì)和消除不均勻性的影響。如真空室內(nèi)未達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，其校準(zhǔn)結(jié)果將會(huì)嚴(yán)重失真，所以其達(dá)到穩(wěn)定校準(zhǔn)條件的耗時(shí)要遠(yuǎn)大于普通壓力檢定。

    (2)使用比較法真空校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)覺(jué)對(duì)壓力變送器中的不確定度主要取決于主要標(biāo)準(zhǔn)器的不確定度，如條件允許，應(yīng)盡可能選用更高一級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)器。

    (3)為將泄漏控制到#小，密封材料和連接件的密封性能至關(guān)重要。普通壓力變送器過(guò)程接口及其密封材料與真空系統(tǒng)中常用的規(guī)格有明顯區(qū)別。如常用規(guī)格為NPT等椎管螺紋纏繞四氟纏繞帶以及M20×1.5直管螺紋墊四氟墊圈或橡膠墊圈組合，而中、低真空系統(tǒng)中常用KF-ISO快速接頭和O型密封圈(通常為普通橡膠和丁基橡膠)，因此校準(zhǔn)前需要考慮不同接頭密封性能的區(qū)別和轉(zhuǎn)換需求。

    (4)從計(jì)量性能驗(yàn)證數(shù)據(jù)分析，覺(jué)對(duì)壓力變送器可以作為中真空壓力的測(cè)量設(shè)備，但受限于傳感器類(lèi)型和廠商的制造水平，建議校準(zhǔn)后根據(jù)需求進(jìn)行遷移，或根據(jù)繪制的校準(zhǔn)曲線使用。

    (5)此校準(zhǔn)裝置為手動(dòng)操作，為達(dá)到JJG729—1991中穩(wěn)定度的要求，建議在雙人配合下進(jìn)行操作。

    (6)因現(xiàn)在絕大多數(shù)智能變送器均帶有表頭輸出，同時(shí)其變送輸出的帶來(lái)的不確定度基本可以忽略不計(jì)，因此，在本文中未提及覺(jué)對(duì)壓力變送器的輸出部分的計(jì)算，實(shí)際應(yīng)用中如有需要，應(yīng)參照J(rèn)JG882—2004進(jìn)行。

6結(jié)束語(yǔ)

    根據(jù)我廠的實(shí)踐，在遵循真空設(shè)計(jì)規(guī)范的前提下，通過(guò)比較法真空校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)測(cè)量范圍在30Pa以上覺(jué)對(duì)壓力變送器是經(jīng)濟(jì)、可行的。